三星、台積電等半導體巨頭將在IEDM展示CFET技術新突破

三星、台積電等半導體巨頭將在IEDM展示CFET技術新突破

2024年12月,全球半導體產業的目光將聚焦於舊金山,第70屆IEEE國際電子設備年會IEDM)將在此舉行。此次盛會不僅吸引了台積電、IMEC、IBM三星等半導體巨頭的參與,也將見證垂直堆疊互補場效電晶體(CFET)技術的最新研究成果展示。

儘管全閘極環繞電晶體(GAA FET)技術尚未在業界獲得大規模應用,但CFET技術作為下一代半導體技術的重要發展方向,已經引起了廣泛關注。 CFET技術的概念最早由IMEC研究所於2018年提出,其核心在於在同一區域內垂直堆疊n型和p型電晶體,以實現更小的製程尺寸和更高的性能。

在即將到來的IEDM會議上,台積電將發表一篇關於CFET技術的論文,詳細介紹在48nm柵距(大致相當於現有5nm製程的標準)上製造的全功能單片CFET逆變器的性能。該逆變器採用了堆疊式n型和p型奈米片晶體管,並融入了背面觸點和互連技術,從而大大提高了裝置的性能與設計靈活性。實驗結果表明,台積電生產的CFET元件展現出高達1.2V的電壓傳輸特性以及僅74~76mV/V的亞閾值斜率,這標誌著CFET在功耗方面取得了顯著進步。

同時,IBM和三星也將展示其CFET技術的最新研究成果。他們提出了一種“單片堆疊FET”,該研究引入了階梯結構的概念,其中底部FET通道比上方通道更寬,以降低堆疊高度並減少高縱橫比工藝帶來的挑戰。此外,IMEC將展示其在「雙排CFET」方面的研究成果,旨在進一步在垂直和水平方面擴展CFET的應用範圍。

根據IMEC的路線圖預測,CFET預計在A5製程節點(預計約2032年)實現廣泛量產。這項預測為CFET技術的未來發展提供了明確的時間表,並預示著該技術將在未來幾年內成為半導體產業的重要發展方向。

儘管CFET技術目前尚未準備好用於商業生產,但此次IEDM會議上的展示無疑為業界提供了寶貴的交流和學習機會。隨著各大半導體公司不斷加大研發投入,CFET技術可望在未來實現更廣泛的應用,為半導體產業的發展注入新的活力。

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